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产品详情
机器型号 | 10128 | 10158 | 10218 | |
行程(mm) | X | 1000 | 1000 | 1000 |
Y | 1200 | 1500 | 2100 | |
Z | 800 | 800 | 800 | |
外形尺寸(mm) | Lx | 1600 | 1600 | 1600 |
Ly | 2177 | 2477 | 3077 | |
Lz | 2837 | 2837 | 2837 | |
测量空间(mm) | Dx | 1130 | 1130 | 1130 |
Dz | 118 | 118 | 118 | |
Dz1 | 940 | 940 | 940 | |
平台(mm) | Ph | 580 | 590 | 590 |
Py | 1910 | 2210 | 2810 | |
支撑(mm) | Sy | 1000 | 1200 | 1450 |
Sy1 | 455 | 505 | 680 | |
承重(Kg) | 1300 | 1500 | 1800 | |
机台重量(Kg) | 1785 | 2090 | 2625 | |
MPEp(μm) | 3.5 | |||
MPEe(μm) | 3.2+L/300 | |||
光栅尺分辨率 | 0.078μm | |||
空间移动速度 | 520mm/s | |||
空间移动加速度 | 1470 mm/s² | |||
流量/供气压力 | 2.5dm3/s (180NL/min) >0.7MPa | |||
温度 | 20±2℃ | |||
湿度 | 45%-75% |